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電子氣體包括些什么 2021-03-08 3:57:25

      半導體工業用的氣體統稱電子氣體。按其門類可分為純氣,高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延,摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合,可分為電子級,LSI(大規模集成電路)級,VLSI(超大規模集成電路)級和ULSI(特大規模集成電路)級。    


            近幾年來,智研數據研究中心隨著我國超大規模集成電路、平板顯示器、光伏發電等產業的迅速發展,電子氣體市場需求量明顯增長,電子特種氣體的國產化已是大勢所趨。據了解,我國在國產化方面取得可喜進展:國產高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局,高純四氟化碳“有價無貨”時代也宣告結束,高純氯化氫已成功打開國內市場。

       

電子氣體主要包括:鍺烷、乙硼烷、乙硅烷、溴化氫、硒化氫、四氯化硅、四氟化碳、砷化三氫、三氯氫硅、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、氯氣、氯化氫、六氟乙烷、六氟化鎢、六氟化硫、硫化氫、磷烷、硅烷、氟化氫、氘氣、氨氣、電子級笑氣等.

其中六氟化硫、電子級笑氣、硫化氫、磷烷使用較多。


電子氣體安全日趨嚴格:

     電子氣體可能存在窒息性、腐蝕性、毒性、易燃易爆性等危險,其危害性被不同區域和不同的工業組織進行了詳細的危險等級分類。對于一個大規模量產的電子工廠,其使用和存儲的電子氣體數量之多可以毫不夸張地被視為擁有“大規模殺傷性”武器庫。任何設計上、施工中、日常運行里存在的安全隱患都會對工廠、人員和環境帶來巨大的災難。


如何保證電子氣體的安全儲存、使用操作,系統的工藝和產品本征安全設計,在眾多的國際標準規范如SEMI,NFPA,CGA,FM等都有很詳細的規定,目前中國國內也正在起草針對電子特種氣體的標準規范。通常而言,會根據氣體性質和相容性,將氣體房分成可燃氣體房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房、硅烷氣體房、三氟化氯氣體房等。氣體房規劃需要考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險物總量控制等等。針對硅烷輸送系統,特別是BSGS系統,因總量較大,應采用隔離式建筑。氣體房和氣柜應采用自動噴淋系統。而三氟化氯遇水反應,需要采用二氧化碳滅火系統。


使用電子氣體的工廠抽風系統也根據危險品性質分成了普通排風系統(GEX),酸性排風系統(SEX),溶劑排風系統(VEX)和氨氣排風系統(AEX)。換鋼瓶時的吹掃尾氣,也建議排放至尾氣處理器中。


輸送管道一般采用無縫SS316L EP管。施工采用自動軌道焊接,經保壓、氦檢漏和純度測試。對于劇毒、高反應性和自燃氣體,應使用雙套管輸送。一些劇毒氣體如磷烷、砷烷等,安全輸送系統(SDS)正在被廣泛使用。其鋼瓶內采用負壓吸附的方式,用真空法輸送,從根本上避免了氣體的泄漏。


氣體偵測系統(GDS)是全廠生命安全系統(LSS)的重要組成部分。對于偵測器的要求,除了精度高,反應迅速外,還應具備自檢功能。

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